Большой энциклопедический политехнический словарь

ЭЛЕКТРОННЫЙ ПРОЕКТОР

автоэлектронный микроскоп, - безлинзовый вакуумный электронно-оптич. прибор для получения увеличенного (в 105 106 раз) изображения поверхности твёрдого тела. Представляет собой сферич. или конусообразную стек. колбу, дно к-рой (экран) покрыто слоем люминофора; в центре колбы помещается катод (исследуемый объект) в виде острия, анодом служит проводящий слой на внутр. стенках колбы или проволочное кольцо вокруг катода. Давление остаточного газа 10 - 1000 МПа. При создании между анодом и катодом разности потенциалов в неск. кВ с кончика острия возникает интенсивная автоэлектронная эмиссия. Электроны ускоряются и бомбардируют экран, вызывая свечение люминофора; в результате на экране воспроизводится распределение плотности электронного тока, отражающее в увелич. масштабе кристаллич. структуру исследуемой поверхности острия. Предельнее разрешение Э. п. 1 нм. Э. п. применяются преим. для изучения автоэлектронной эмиссии металлов и ПП, определения работы выхода электронов с разных граней монокристалла и т. п.



Ещё